ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。
　　X射線熒光光譜儀通常可分為兩大類，波長色散X射線熒光光譜儀（WDXRF）和能量色散X射線熒光光譜儀（EDXRF），波長色散光譜儀主要部件包括激發(fā)源、分光晶體和測角儀、探測器等，而能量色散光譜儀則只需激發(fā)源和探測器和相關(guān)電子與控制部件，相對簡單。
　　波長色散X射線熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測元素的分析譜線，根據(jù)Bragg定律，通過測定角度，即可獲得待測元素的譜線波長：
　　nλ=2dsinaθ （n=1,2,3…）
　　式中 ，λ為分析譜線波長；d為晶體的晶格間距；θ為衍射角；n為衍射級次。利用測角儀可以測得分析譜線的衍射角，利用上式可以計算相應(yīng)被分析元素的波長，從而獲得待測元素的特征信息。
　　能量色散射線熒光光譜儀則采用能量探測器，通過測定由探測器收集到的電荷量，直接獲得被測元素發(fā)出的特征射線能量：
　　Q=kE
　　式中，K為入射射線的光子能量；Q為探測器產(chǎn)生的相應(yīng)電荷量；k為不同類型能量探測器的響應(yīng)參數(shù)。電荷量與入射射線能量成正比，故通過測定電荷量可得到待測元素的特征信息。
　　待測元素的特征譜線需要采用一定的激發(fā)源才能獲得。目前常規(guī)采用的激發(fā)源主要有射線光管和同位素激發(fā)源等。
　　為獲得樣品的定性和定量信息，除光譜儀外，還必須采用一定的樣品制備技術(shù)，并對獲得的強度進行相關(guān)的譜分析和數(shù)據(jù)處理，
　　rohs指令是國家剛頒布的《電子電氣設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)指令 》的簡稱。顧名思義，RoHS檢測儀是一種檢測ROHS的檢測儀，原理是利用X射線檢測ROHS標準規(guī)定中的元素的含量，這些元素包括：
　　1．鉛 1000ppm以下 4．六價鉻 1000ppm以下
　　2．水銀 1000ppm以下 5．多溴聯(lián)苯（PBB） 1000ppm以下
　　3．鎘 100ppm以下 6．多溴二苯醚（PBDE） 1000ppm以下
　　RoHS檢測儀有很多種，價格也不等，但都比較貴，只有大的檢測中心和大型的公司有。目前很多專門機構(gòu)都提供ROHS檢測的服務(wù)。
　　RoHS檢測儀目前市場上常見的類型是X射線熒光分析儀，又分為能量色散型和波長色散型，能量色散型因其技術(shù)原理及結(jié)構(gòu)比波長色散型簡單，現(xiàn)市場上比較常見，其技術(shù)原理：
　　特征X射線　　
　　放射性同位素源或X射線發(fā)生器放出的X射線或Γ射線與樣品中元素的原子相互作用，逐出原子內(nèi)層電子。當(dāng)外層電子補充內(nèi)層電子時，會放射該原子所固有能量的X射線-特征X射線。
　　元素含量與特征X射線強度的關(guān)系　
　　不同元素特征X射線能量各不相同，依此進行定性分析；再根據(jù)特征X射線強度大小，可進行定量分析。
　　可用函數(shù)關(guān)系式表示為：C=f（k1I1, k2I2, k3I3...）
　　式中：Kn（n=1,2,3…）表示第n號元素的待定系數(shù)
　　In（n=1,2,3…）表示第n號元素釋放的特征X射線強度
　　由此可知只要通過標定確定系數(shù)Kn之后便可進行物質(zhì)中元素的定量分析了。
　　在中華人民共和國境內(nèi)生產(chǎn)、銷售和進口電子信息產(chǎn)品過程中控制和減少電子信息產(chǎn)品對環(huán)境造成污染及產(chǎn)生其它公害，適用本辦法。但是，出口產(chǎn)品的生產(chǎn)除外。
　　RoHS檢測儀是為了控制生產(chǎn)商生產(chǎn)的產(chǎn)品中對人體健康有害的重金屬含量。比如空調(diào)、洗衣機、吸塵器、熱水器、手機、這些產(chǎn)品在人們生活中都會經(jīng)常遇到，所以如果重金屬超標會影響人體健康。建議生產(chǎn)商要嚴格控制重金屬含量，保障廣大消費者的健康。